• Chipmachinemaker ASML heeft een megabestelling ontvangen voor zijn hypermoderne EUV-machines.
  • De Zuid-Koreaanse fabrikant van geheugenchips SK Hynix betaalt de komende vijf jaar in totaal 3,6 miljard euro.
  • Met EUV-technologie kan meer rekenkracht of opslagcapaciteit gebundeld worden op een kleinere chip.

De Nederlandse chipmachinemaker ASML heeft een grote bestelling gekregen van de Zuid-Koreaanse fabrikant van geheugenchips SK Hynix.

Dat bedrijf neemt de komende vijf jaar voor zo’n 3,6 miljard euro zogeheten EUV-machines af. Die gaat SK Hynix gebruiken om nog snellere en energiezuinigere geheugenchips te fabriceren.

De order is zelfs voor ASML een grote. De omzet over heel 2020 bedroeg 14 miljard euro. Het techbedrijf uit Veldhoven had eind vorig jaar voor 11,3 miljard euro aan orders openstaan.

EUV is een technologie die chipfabrikanten in staat stelt op grote schaal kleinere, maar krachtigere chips te maken. Hoe werkt dat precies?

Het maken van chips

Chips ‘bakken’ begint met een laser die via een speciale glasplaat met een patroon een ronde schijf silicium belicht. Dat is een kristal ontstaan uit zand en de grondstof van elke halfgeleider, zoals die te vinden is in een telefoon of computer.

Op deze schijf is een laag aangebracht die reageert op licht. Door deze belichting ontstaat er op de schijf, ook wel een wafer genoemd, een patroon van elektrische circuits.

De machine bewerkt de schijf niet één maar wel dertig keer, en bouwt zo een driedimensionale chip van dertig laagjes bovenop elkaar. Het is een bijzonder nauwkeurig proces. De lagen moeten exact op elkaar passen, anders kunnen ze niet met elkaar communiceren.

Steeds kortere golflengte

De kunst is om de afstand tussen de lijntjes in het patroon te verkleinen. Dat is cruciaal voor de hoeveelheid informatie en rekenkracht die uiteindelijk in een chip kan. 

Twintig jaar geleden konden chipmachines lijntjes op siliciumschijven produceren van 90 nanometer breed. Die afstand is steeds verder verkleind. Dat is ook de reden dat de rekenkracht van een desktop-computer nu in je broekzak past in de vorm van een smartphone.

Er is echter een beperkende factor, namelijk de golflengte van het licht dat je gebruikt. Net als een schilder die een kleiner penseel gebruikt om details te schilderen, kun je met een kleinere lichtgolf meer lijntjes kwijt op een chip.

De nieuwste machines van ASML maken daarom gebruik van extreem ultraviolet licht (EUV) om lijntjes op een chip te schrijven. Door de korte golflengte van dit licht (13,5 nanometer) kan de afstand tussen de lijntjes tot een minimum worden beperkt. De EUV-machines van ASML haalt tegenwoordig zelfs de 5 nanometer.

ASML ziet de omzet stijgen

Dat mag wat kosten. De apparaten, die zo groot zijn als een bus, kosten meer dan 100 miljoen euro per stuk.

Toch staan chipmakers als TSMC, Intel en Samsung te springen om de EUV-machines. Door de coronapandemie is de vraag naar thuiswerkspullen zoals smartphones en laptops toegenomen. Ook chips voor elektrische auto's en in datacenters zijn in trek.

Dat ziet ASML terug in de omzet, die vorig jaar met bijna 19 procent steeg. De nettowinst bedroeg bijna 3,6 miljard euro, tegen 2,6 miljard euro in 2019. 

ASML verkocht vorig jaar 31 EUV-systemen. Inmiddels heeft het bedrijf de mijlpaal van 100 verscheepte EUV-machines bereikt.

"In 2021 verwachten we opnieuw een jaar van groei door een sterke vraag naar processoren en aanhoudend herstel bij geheugenchips", zei ASML-topman Peter Wennink bij de presentatie van de jaarcijfers. "De uitrol van digitale infrastructuur en de doorgaande technologische innovatie in de consumentenmarkt, de autosector en de industrie jaagt de vraag naar al onze producten aan."

Exportverbod voor China

De omzet had echter nog hoger kunnen zijn, ware het niet dat ASML geen Nederlandse exportvergunning kreeg om zijn hypermoderne machines naar China te exporteren. Dat willen de Amerikanen liever niet.

EUV-machines vallen onder het Wassenaar Arrangement. Deze afspraak tussen tientallen landen beperkt de export van wapens naar bepaalde landen, maar ook van moderne technologie die voor militaire doeleinden kan worden gebruikt. Voor de uitvoer daarvan is daarom eerst goedkeuring uit Den Haag nodig.

CEO Wennink heeft eerder gezegd te hopen dat onder de nieuwe Amerikaanse president Joe Biden wat meer internationaal overlegd zal worden. Op een grotere omslag in het Amerikaanse beleid richting China durfde hij nog niet te rekenen.

Lees meer over technologie: